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芯片制造技术与应用图书

原作名： = Chip manufacturing technology and applications

作者：姚玉主编

符显珠主编

出版：暨南大学出版社，2024

定价： 98.0

页数： 363页

学科：工学-电子信息类

主题：芯片

ISBN： 978-7-5668-3967-1

丛书：中国芯片制造系列

内容简介

本书立足于产业制造，介绍芯片的制造工艺和核心技术。全书共十章，涵盖集成电路简介、半导体器件、硅及硅片制备、电介质薄膜沉积、光刻、刻蚀、掺杂、金属化、化学机械研磨和芯片先进封装制造等核心内容。

馆藏情况

馆藏号	馆藏地名称	索书号	文献状态	操作
240112319	新书二库（图书馆二楼201）	TN430.5 1	在馆	转借
240112320	新书二库（图书馆二楼201）	TN430.5 1	在馆	转借

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